無塵車間裏，郭連生的團隊正在拆卸蝕刻機的外殼，工人們都陰沉着臉，一聲不吭的在幹活。
“許董，看樣子國產等離子發生器的質量不行，換到老外的主機系統上根本不配套。”看到許振鳴走來，郭連生摘下口罩朝許振鳴苦笑着搖頭。
對於蝕刻機這種高精尖的機電一體化產品，許振鳴也已經是外行人了。蝕刻機用等離子光束清洗光刻膠，肉眼只能看到一束光在硅晶圓片上掃射，除非用高精度電子顯微鏡才能看到部分硅晶圓片的電路蝕刻情況。
故此，許振鳴沒有不懂裝懂，而是皺着眉頭問道：“你認爲這是機械問題，還是控制問題，或者是系統問題？”
按照許振鳴的理解，郭連生的團隊在試驗之前，應該用國產蝕刻機做過一些調試實驗。他想知道用國產蝕刻機來蝕刻芯片電路的時候是否穩定，是否有過成功的案例。
“有是有過，但很不穩定。有時可以做到130納米，有的時候就做不到。所以我們採用替換法來找原因。”
“那你們離成功還遠的很吶。”許振鳴不由得的一揮手，示意郭連生應該冷靜下來，召開技術討論會，探討一下國產蝕刻機不穩定的故障緣由。
見老闆如此吩咐，郭連生朝幾位帶着眼鏡的工程師招了招手，“都停下來，咱們去會議室開會。”
不多久，衆人來到無塵車間內的一個內部小會議室，大家在無影燈下的小會議桌圍坐一圈。
“許董，我認爲咱們研發的思路有點問題。蝕刻機的研發應該走逐步國產之路。”
“我以爲小王說得對。咱們應該先做蝕刻機的核心部件等離子發生器，然後再做主機系統。至於自動化控制系統，那是咱們的強項，不再考慮之列。”
“等離子發生器不是已經做了好嗎？關鍵這套系統的光源不穩定呀！”
受到打擊的工程師們都有點灰心喪氣，認爲問題就出在等離子發生器的身上。
等離子發生器是郝寧教授團隊的作品，但機械部分卻又是洪愛國團隊的配合。這下需要郝寧教授跟洪愛國派人來檢查原因了。
聽到這番議論，郭連生的臉色就跟難看，“咱們不能推卸責任。這故障本來就應該我們負責檢查和調試的。”
在他看來，光源部分的系統郝寧教授已經做過很多次試驗，而且已經拍胸部保證沒問題，不會出現等離子束不穩定的事情；洪愛國團隊製造的基座、支架等都用最先進的數控機牀全機加工而成，精度肯定沒問題。
那麼出現今天這種情況，以及前面幾次試驗的故障情況等，統統都是他們半導體裝備製造公司設計，或者組裝調試出了問題。
聽完這個小故事，許振鳴總算搞明白是咋回事了。
《大國智能製造》